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1.5.2. ÔªËغ¬Á¿·ÖÎöÁìÓòΪ1 PPmµ½99.99%£»

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1.6.²úÆ·Ìصã

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2.3  ¸ßѹ·¢Éä×°ÖÃ:

2.3.1. µçѹÊä³öMAX£º 50KV£»

2.3.2.µçѹÊä³öMIN:   5KV

2.3.3.×Ô´øµçѹ¹ýÔر£»¤

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2.4.2  ·ÊýMAX£º4096£»

2.4.3  Ô̺¬ÐźżÓÇ¿´¦ÖÃ

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2.6  ×¼Ö±Æ÷×Ô¶¯Çл»Ä£¿é

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2.7  Â˹âƬ×Ô¶¯Çл»Ä£¿é

2.7.1ÁùÖÖÂ˹âƬµÄ×ÔÓÉÑ¡ÔñºÍÇл»¡£

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2.9.1 ×Ô¶¯Ñ¡Ôñ¹¤×÷ÇúÏߣ¬ÞðÆúÊÖ¶¯Ñ¡Ôñ£¬Ô¤·À±¨´ð²Ù×÷ʧÎ󣬽«×Ô¶¯»¯ºÍÖÇÄÜ»¯

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4.1.1Èí¼þ¼ò½é

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5. ²úÆ·±£½¨¼°ÊÛºó·þÎñ  

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5.2 ×°Öᢵ÷ÊÔ¡¢ÑéÊÕ¡¢Åàѵ¼°¼¼Êõ·þÎñ¾ùΪÃâ·ÑÔÚÓû§·½ÏÖ³¡¶Ô²Ù×÷ÈËÔ±½øÐÐÅàѵ¡£

5.3Õý³£Ê¹Ó㬾­±¾¹«Ë¾ÊÛºó·þÎñ²¿¼¼ÊõÈËԱȷÈÏÊô¹¤ÒÕ»ò²ÄÖÊȱµãÒýÆðµÄ¹ÊÕÏ£¬ÇÒδ¾­²ð½¨£¬ÒÇÆ÷×ÔÑéÊպϸñÖ®ÈÕÆð±£½¨Ò»Äê¡£

5.4  ²úƷƽÉúά½¨¡££¨¿Í»§±ØÐëÓÐÌîд¾ßÌå¡¢ÕæʵµÄÓÐЧ²É°ìƾ֤£¬·¢Æ±ºÍ±£½¨¿¨µÈ£©

5.5  Ãâ·ÑÌṩÈí¼þÉý¼¶£»

5.6  Ìṩ*ÓÐЧµÄ¼¼Êõ·þÎñ£¬ÔÚ½Óµ½Óû§¹ÊÕÏÐÅÏ¢ºó£¬2Ó×ʱÄÚÏìÓ¦£¬ÈçÓбØÒª£¬48Ó×ʱÄÚÅÉÈËÉÏÃÅά½¨ºÍÅųý¹ÊÕÏ¡£